日本久久国产,欧美91综合婷婷,人妻熟女少妇久久,日韩AV,啊啊啊

似空科學(xué)儀器(上海)有限公司歡迎您! 聯(lián)系電話:18657401082;17721369156
似空科學(xué)儀器(上海)有限公司
產(chǎn)品目錄
當(dāng)前位置:主頁 > 產(chǎn)品目錄 > 其它科學(xué)儀器設(shè)備 > 反應(yīng)離子刻蝕 > 日本SAMCO RIE等離子蝕刻設(shè)備 RIE-10NR

日本SAMCO RIE等離子蝕刻設(shè)備 RIE-10NR

簡要描述:RIE-10NR是一種新型的低成本、高性能、全自動反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)最苛刻的工藝要求。 計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編程和存儲提供了用戶友好的界面。該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計(jì),RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。

  • 更新時(shí)間:2025/5/29 10:30:46
  • 訪  問  量:4201
  • 產(chǎn)品型號:RIE-10NR
詳細(xì)介紹

 

 

反應(yīng)離子刻蝕機(jī)

SAMCO RIE-10NR

 

簡介:

RIE-10NR是一種新型的低成本、
高性能、全自動反應(yīng)離子刻蝕系統(tǒng),
能夠滿足非腐蝕性氣體化學(xué)最苛刻
的工藝要求。
計(jì)算機(jī)化觸摸屏為工藝配方編
程和存儲提供了用戶友好的界面。
該系統(tǒng)可以實(shí)現(xiàn)精確的側(cè)壁輪
廓控制和材料之間的高蝕刻選擇性。
憑借其圓滑、緊湊的設(shè)計(jì),
RIE-10NR只需要很小的潔凈室空間。
 
應(yīng)用:
硅、二氧化硅、氮化硅、多晶硅、
砷化鎵、鉬、鉑、聚酰亞胺等材料的
腐蝕失效分析中的選擇性層腐蝕。

 

 

 

 

 

 

 

主要功能和優(yōu)點(diǎn):
1、加工至ø220 mm(ø3“x 5,ø4”x 3,ø8”x 1)。
2、高選擇性各向異性蝕刻滿足嚴(yán)格的工藝要求全自動“一鍵式”操作。
3、自動壓力控制,允許獨(dú)立于氣流干泵和系統(tǒng)布局的過程壓力精確控制,便于維護(hù)。
4、于Windows的用戶界面,豐富的配方和內(nèi)置的數(shù)據(jù)記錄功能,是一個(gè)可靠和持久的系統(tǒng),全球安裝了400多個(gè)系統(tǒng)。
 
 
 
主要參數(shù)規(guī)格:
基板
220 mm(ø3“x 5,ø4”x 3,ø8”x 1)
負(fù)載
開放式
上下電極
ø240 mm
射頻功率
300瓦@13.56兆赫,自動匹配(500瓦為選項(xiàng))
可切換射頻供電電極(陽極/陰極模式)為選項(xiàng)
氣體管道
內(nèi)部2條MFC控制的氣體管道(最多6條)
干泵(500升/分鐘)
操作系統(tǒng)
觸摸屏操作(可選擇基于Windows的用戶界面)、配方管理
端點(diǎn)檢測
光學(xué)發(fā)射光譜(OES)作為一種選擇
尺寸
500 mm(寬)x 920 mm(深)x 1501 mm(高)

 

 
 
 
                   
 
 
 

 


產(chǎn)品咨詢

留言框

  • 產(chǎn)品名稱:
  • 留言內(nèi)容:
  • 您的單位:
  • 您的姓名:
  • 聯(lián)系電話:
  • 常用郵箱:
  • 省份:
  • 詳細(xì)地址:
  • 驗(yàn)證碼:
公司簡介 新聞資訊 技術(shù)文章 聯(lián)系我們
似空科學(xué)儀器(上海)有限公司

聯(lián)系電話:
18657401082;17721369156

久久99国产综合精品| 日本a v在线播放| 国产18禁黄网站免费观看| 第一章少妇初尝云雨69章| 五月天一区二区| 无码人妻丰满熟妇片毛片| 亚洲AV日韩AV高潮无码专区| 91精品久久日日躁夜夜躁欧美 | 激情综合色| 日韩欧美亚洲综合久久影院ds| 国产一区二区三区在线观看免费| 精品人人妻人人澡人人爽人人| 亚洲最大无码中文字幕网站| 色婷婷激情av精品影院| 桃花红杏花白| 狠狠色狠狠色综合伊人| 久久人人爽天天玩人人妻精品| 久久天天躁狠狠躁夜夜2020| 江达县| 国产av人人夜夜澡人人爽麻豆| 国产精品白浆| 性色a∨亚洲一区二区三区老狼 | 午夜爱爱免费视频无遮挡| 国产aⅴ精品一区二区三区久久| 久久色视频| 国产精品久久久久久一区二区三区| 伊人www22综合色| 精品亚洲日韩AⅤ在线观看 | 日韩伦理片| 三上悠亚上司の在线播放| 久久久久有精品国产麻豆| 无码熟妇人妻av| 在线 | 国产精品99传媒A| 亚洲欧美日韩综合在线丁香| 131美女爱做视频免费 | 日韩欧美亚洲国产精品字幕久久久 | 国产色视频一区二区三区QQ号| 麻豆亚洲AV永久无码精品久久| 国产成人精品高清在线观看93| 少妇暴力深喉囗交3p| 免费人妻精品一区二区三区|